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LED外延片生长需要用到哪些设备和原料、工艺流程是什么?目前我

发布日期:2019-08-03 21:21   来源:未知   阅读:

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  用到的设备主要是MOCVD设备。当然还有一些辅助设备,比如尾气处理系统、超净间及排风系统、水冷系统、气站和供气系统等。

  蓝宝石衬底(图形衬底或平面衬底)、有机源(镓源、镁源、铝源等)、氨气、高纯氮、高纯氢

  石墨盘(100多炉换,看工艺了)、加热系统备件(没问题的话能用年把)、尾气过滤器(常换) Veeco有些型号的设备带有小型气体纯化器,此类不能再生,也应该算耗材之一吧。

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